著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐藤 勝,低ガス放出で高輻射率の AlTiN 成膜の紹介,Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2013,56,6,237-240,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680272305792,https://doi.org/10.3131/jvsj2.56.237