著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 内田 大宇 and 長谷川 周彦 and 祖父江 英哲 and 岩森 暁 and 齋藤 洋司,Poly(etheretherketone) (PEEK) をターゲットとした高周波スパッタリング法による薄膜作製とその評価,Journal of the Vacuum Society of Japan,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2010,53,7,458-462,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680272485120,https://doi.org/10.3131/jvsj2.53.458