著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
加藤 和広,The 13th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2015),Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ,1882-2398,一般社団法人 日本真空学会,2015,58,12,452-453,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680272557824,https://doi.org/10.3131/jvsj2.58.452