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桑原 豪 and 後藤 貴則 and 佐々重 光祐 and 田中 一学 and 川畑 敬志,多重磁極型高周波マグネトロンスパッタ法によるＣｏ薄膜の基板温度依存性,Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2008,51,6,405-407,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680272628352,https://doi.org/10.3131/jvsj2.51.405