著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
角山 寛規 and 戸名 正英 and 塚本 恵三 and 中嶋 敦,大電力パルスマグネトロンスパッタを用いたナノクラスター超原子の生成技術,Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2017,60,9,352-361,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680272766592,https://doi.org/10.3131/jvsj2.60.352