著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 黒岩 雅英 and 中谷 達行,医療用ダイアモンド状炭素(DLC)成膜に最適な大電力パルスマグネトロンスパッタ(HiPIMS)用パルス電源の開発,Journal of the Vacuum Society of Japan,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2017,60,9,372-375,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680272786816,https://doi.org/10.3131/jvsj2.60.372