著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
呉 静波 and 村上 理一 and 近藤 正春 and 金 允海,傾斜対向ターゲット型ＤＣマグネトロンスパッタリング法による低温アモルファスＩＴＯ薄膜の作製,材料,05145163,公益社団法人 日本材料学会,2002,51,6,688-693,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680369152640,https://doi.org/10.2472/jsms.51.688