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松英 達也 and 英 崇夫 and 池内 保一,アーク・イオンプレーティングによって形成された硬質積層薄膜における残留応力の熱緩和,材料,05145163,公益社団法人 日本材料学会,2007,56,7,635-640,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680394465280,https://doi.org/10.2472/jsms.56.635