著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山内 朗 and 加々見 丈二,ハイブリッドボンディング(プラズマ表面活性化接合と陽極接合の併用)による低温ボイドレス接合方法,エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集,,一般社団法人エレクトロニクス実装学会,2006,20,0,11-13,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680532733440,https://doi.org/10.11486/ejisso.20.0.11.0