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末重 良宝 and 飯村 慶太 and 一木 正聡 and 須賀 唯知 and 伊藤 寿浩,誘電性薄膜の高品質化とウェハレベル成膜への応用,エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集,,一般社団法人エレクトロニクス実装学会,2012,26,0,37-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680533191808,https://doi.org/10.11486/ejisso.26.0_37