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福島 忠和 and 大久保 智裕 and 井内 徹,Si半導体ウエハの放射率挙動の測定,計測自動制御学会 部門大会／部門学術講演会資料,13437631,公益社団法人 計測自動制御学会,2002,sf19,0,67-67,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680536732672,https://doi.org/10.11499/siced.sf19.0.67.0