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小林 勇太 and 横田 洋隆 and 渕田 泰司 and 高橋 敦 and 菅原 義之,VUV光照射によるPHPS薄膜のSiO<SUB>2</SUB>薄膜への転換過程とガスバリア性の調査,日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集,,公益社団法人 日本セラミックス協会,2010,2010S,0,2P138-2P138,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680594387456,https://doi.org/10.14853/pcersj.2010s.0.2p138.0