著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
船生 智史 and 塗 溶 and 後藤 孝,マイクロ波プラズマCVD法によるα-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>膜の合成,日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集,,公益社団法人 日本セラミックス協会,2009,2009F,0,1M08-1M08,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680595086336,https://doi.org/10.14853/pcersj.2009f.0.1m08.0