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柳川 敦志 and 涌井 伸二 and 羽持 満,空圧位置決め制御系の高速化,自動制御連合講演会講演論文集,,自動制御連合講演会,2008,51,0,202-202,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680624207616,https://doi.org/10.11511/jacc.51.0.202.0