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前田 行紀 and 泉谷 純也 and 青柳 誠司 and 高野 政晴 and 橋口 原,ピエゾ抵抗を用いたマイクロ触覚センサの開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2004,2004S,0,695-695,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680624609920,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004s.0.695.0