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岩井 学 and 後谷 崇文 and 吉田 章浩 and 植松 哲太郎 and 鈴木 清,メガソニッククーラントの種類の影響,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2004,2004S,0,561-561,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680625069056,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004s.0.561.0