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足立 和俊 and 山口 勝己 and 本田 索郎 and 村田 一夫 and 岩井 英樹 and 高見 信敬 and 島田 尚一 and 井川 直哉,超精密加工機におけるレーザ測長誤差低減のための環境補正装置の高精度化,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2005,2005A,0,429-430,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680625202944,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005a.0.429.0