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浜松 玲 and 野口 稔 and 西山 英利 and 宇都 幸雄 and 大島 良正 and 渡邉 哲也,空間フィルタリングを用いた欠陥検査技術,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2003,2003S,0,815-815,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680626738688,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003s.0.815.0