著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
東海林 勇 and 片岡 憲一 and 伊藤 寿浩 and 須賀 唯知,LSIプロービングのためのソフトバンププロセス,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2005,2005S,0,50-50,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680626932736,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005s.0.50.0