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宮本 士郎 and 久保田 章亀 and 安井 平司 and 山内 和人,遷移金属微粒子を用いた研磨法によるGaN基板の平坦化,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2008,2008A,0,445-446,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680629139200,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008a.0.445.0