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桐野 宙治 and 榎本 俊之,真空紫外光を用いた銅の砥粒フリー研磨法の提案(第2 報),精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2008,2008S,0,273-274,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680630080768,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008s.0.273.0