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栗原 貴之 and 杉本 竜一 and 工藤 良太 and 高橋 哲 and 高増 潔,変調エバネッセント照明による三次元高分解能計測に関する研究（第一報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2011,2011S,0,829-830,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680630649216,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011s.0.829.0