著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
YOUN SUNGWON and 朴 相天 and 王 清 and 鈴木 健太 and 廣島 洋,グレースケールレーザビームリソグラフィとドライエッチング法を併用したインプリント工程用多段型の製作,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2011,2011S,0,771-772,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680630740864,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011s.0.771.0