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畝田 道雄 and 表 辰憲 and 澁谷 和孝 and 中村 由夫 and 市川 大造 and 石川 憲一 and 土肥 俊郎,ポリシングパッド表面の微視的・巨視的性状に及ぼすコンディショニングの効果,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2012,2012S,0,821-822,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680630781312,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012s.0.821.0