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硬Ｘ線集光用形状可変ミラーの開発
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- Nakamori Hiroki
- Osaka University
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- Goto Takumi
- Osaka University
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- Matsuyama Satoshi
- Osaka University
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- Sano Yasuhisa
- Osaka University
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- Kohmura Yoshiki
- RIKEN
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- Ishikawa Tetsuya
- RIKEN
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- Yamauchi Kazuto
- Osaka University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 変形最適化手法の検討
Description
我々はX線領域で集光径可変なアダプティブ集光光学系を構築するための光学素子として，形状可変ミラーの開発を行っている．形状可変ミラーは合成石英基板に圧電素子を接着した構造である．圧電素子上の電極に印加する電圧を制御することで，最適な楕円形状への変形を可能とする．本発表では，形状可変ミラーの変形における電圧印加方法の最適化と，圧電素子の特性であるドリフトが変形へ与える影響について，詳しく報告する．
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2013A (0), 649-650, 2013
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680631370496
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- NII Article ID
- 130004661347
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed