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中森 紘基 and 後藤 拓実 and 松山 智至 and 佐野 泰久 and 香村 芳樹 and 石川 哲也 and 山内 和人,硬Ｘ線集光用形状可変ミラーの開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2013,2013A,0,649-650,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680631370496,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013a.0.649.0