硬Ｘ線集光用形状可変ミラーの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- 変形最適化手法の検討
説明
我々はX線領域で集光径可変なアダプティブ集光光学系を構築するための光学素子として，形状可変ミラーの開発を行っている．形状可変ミラーは合成石英基板に圧電素子を接着した構造である．圧電素子上の電極に印加する電圧を制御することで，最適な楕円形状への変形を可能とする．本発表では，形状可変ミラーの変形における電圧印加方法の最適化と，圧電素子の特性であるドリフトが変形へ与える影響について，詳しく報告する．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2013A (0), 649-650, 2013
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680631370496
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- NII論文ID
- 130004661347
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可