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瀬下 清 and 土肥 俊郎 and 山崎 努 and 大坪 正徳 and 菅野 俊彦 and 佐伯 卓 and 宮下 忠一,グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発（第11報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2016,2016S,0,349-350,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680631570432,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016s.0_349