著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 岡部 憲嗣 and 畝田 道雄 and 前田 有樹 and 守屋 紀彦 and 澁谷 和孝 and 石川 憲一,ダブプリズムを用いた接触画像解析法に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2011,2011S,0,343-344,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680631676416,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011s.0.343.0