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Shimozono Naoki and Nagano Mikinori and Yamamura Kazuya,数値制御ローカルウェットエッチングにおける加工精度の向上に関する研究 第Ⅱ報,Proceedings of JSPE Semestrial Meeting,,The Japan Society for Precision Engineering,2013,2013S,0,367-368,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680631730432,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013s.0.367.0