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江頭 峻輝 and 土肥 俊郎 and 黒河 周平 and 大西 修 and 畝田 道雄 and 越山 勇 and 市川 大造,加工環境制御可能なBell-Jar型CMP装置による難加工材料の研磨特性,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2012,2012A,0,81-82,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680631846912,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012a.0.81.0