著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
磯野 慎太郎 and 木村 景一 and 鈴木 恵友 and カチョーンルンルアン パナート and 占部 正和,CMP用マイクロパターンパッドの開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2012,2012A,0,71-72,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680632269952,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012a.0.71.0