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野里 英明 and 穀山 渉 and 服部 浩一郎,ヘテロダイン型レーザ干渉計を搭載した高周波振動校正装置の開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2016,2016A,0,435-436,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680632647296,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016a.0_435