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内藤 達也 and 佐藤 基起 and 佐竹 うらら and 杉原 達哉 and 榎本 俊之,研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2012,2012S,0,311-312,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680633018880,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012s.0.311.0