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山田 知広 and 川島 慎吾 and 中上 昌俊 and 門谷 豊 and 和泉 亮,ＨＷＣＶＤ法によるシリコン炭窒化膜の摩擦係数評価,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2012,2012A,0,313-314,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680633125760,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012a.0.313.0