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庄司 哲史 and 池内 克徳 and 吉田 昌弘 and 柳 和久 and 清野 慧,広領域精密平板を対象とした実用的な表面輪郭測定システム,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2012,2012S,0,441-442,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680633158912,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012s.0.441.0