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浅野 博弥 and 定國 峻 and 佐野 泰久 and 八木 圭太 and 松山 智至 and 山内 和人,ステップフロー型研磨法によるGaN基板の平坦化加工と除去速度増加の検討,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2012,2012A,0,427-428,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680633552640,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012a.0.427.0