著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
山崎 努 and 瀬下 清 and 塚本 敬一 and 大坪 正徳 and 西澤 秀明 and 宮下 忠一 and 高木 正孝 and 土肥 俊郎,グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発 （第9報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2015,2015A,0,443-444,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680633695104,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015a.0_443