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大山 幸希 and 土肥 俊郎 and 佐野 泰久 and 黒河 周平 and 會田 英雄 and 金 聖祐 and 塩澤 昂祐 and 西澤 秀明 and 山崎 努 and 宮下 忠一,革新的“plasma fusion CMP装置”の設計・試作（第7報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2015,2015S,0,527-528,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680634028800,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015s.0_527