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柴田 知宏 and 前田 将宏 and 酒井 健史,高速・高精度維持を実現する制御技術,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2015,2015A,0,267-268,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680634222592,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015a.0_267