著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
小池 勇樹 and 朱 疆 and 田中 智久 and 齋藤 義夫,LSI製造プロセスにおける搬送経路に基づくマルチクラスタシステムの効率化,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2014,2014S,0,17-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680634449280,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014s.0_17