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南川 丈夫 and 謝 宜達 and 澁谷 九輝 and 長谷 栄治 and 兼岡 良樹 and 大久保 章 and 稲場 肇 and 水谷 康弘 and 山本 裕紹 and 岩田 哲郎 and 安井 武史,デュアル光コム分光法を用いた分光エリプソメトリーの開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2017,2017A,0,981-982,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680634619136,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017a.0_981