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水本 洋 and 田添 洋一 and 阿閉 克彦 and 廣瀬 智博,能動動圧軸受を組み込んだ高速・高精度エアースピンドルの開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2014,2014S,0,537-538,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680636157568,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014s.0_537