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瀬下 清 and 土肥 俊郎 and 大坪 正徳 and 塚本 敬一 and 山崎 努 and 川村 佳秀 and 市川 大造,グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発（第12報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2017,2017S,0,533-534,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680636234240,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017s.0_533