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菊地 洋輝 and 清水 浩貴 and 田丸 雄摩 and 坂本 憲児,MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第6報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2015,2015S,0,135-136,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680636606336,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015s.0_135