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岩田 寛 and 石井 裕樹 and 加藤 大輝 and 川島 奨平 and 児玉 翔 and 田中 正俊 and 関谷 隆夫,中空円筒型カソードを用いた反応性スパッタリングにより作成したZrON薄膜の特性,表面科学学術講演会要旨集,,公益社団法人 日本表面真空学会,2017,37,0,98,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680656064768,https://doi.org/10.14886/sssj2008.37.0_98