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高見 佳生 and 高木 雄也 and 篠原 正典 and 松田 良信 and 藤山 寛,水素プラズマ-シリコンの反応の赤外分光計測,表面科学学術講演会要旨集,,公益社団法人 日本表面真空学会,2012,32,0,163,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680656328448,https://doi.org/10.14886/sssj2008.32.0_163