酸素分子・酸素プラズマによるアモルファス炭素膜の酸化反応

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書誌事項

タイトル別名
  • Oxidation of amorphous carbon film due to oxygen molecules and oxygen plasma

説明

水素化アモルファス炭素膜は疎水性を示すが、表面を酸化することにより親水化できることが知られている。そこで、酸化はどのように進むのか、多重内部反射赤外吸収分光法で調べたので報告する。ごく初期の酸化過程を調べるために、炭素膜を形成後大気に取り出すことなく、酸素分子を供給した。その結果、C-O結合がO-H結合よりも形成されやすいことが分かった。また、酸素プラズマに曝露すると、O-H結合が形成されることが分かった。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680656386688
  • NII論文ID
    130004674124
  • DOI
    10.14886/sssj2008.29.0.148.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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