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土肥 俊郎 and 山崎 努 and 瀬下 清 and 大坪 正徳 and 塚本 敬一 and 菅野 俊彦 and 市川 大造 and 宮下 忠一 and 高木 正孝 and 佐伯 卓 and 會田 英雄,グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究,年次大会,2424-2667,一般社団法人 日本機械学会,2016,2016,0,S1630103,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680817819776,https://doi.org/10.1299/jsmemecj.2016.s1630103