著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
千葉 栄馬 and 蛯名 雄太郎 and 山本 武幸 and 尾嶌 裕隆 and 小貫 哲平 and 清水 淳 and 周 立波,701 極薄Siウエハ研削技術に関する研究(OS7-(1)オーガナイズドセッション《精密/微細加工と評価》),茨城講演会講演論文集,2424-2683,一般社団法人 日本機械学会,2011,2011.19,0,177-178,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282680830990336,https://doi.org/10.1299/jsmeibaraki.2011.19.177